申请/专利权人：郑州港芯科技有限公司

申请日：2023-09-08

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220780223U

主分类号：B01J3/06

分类号：B01J3/06;B01J19/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种曲面多晶金刚石薄膜的微波合成装置，包括箱体和密封机构；箱体：其底壁的中部设置有放置台，箱体前端设置的安装槽内通过铰链铰接有箱门，箱体前端的上侧通过轴承转动连接有安装杆，箱体右端开设的进气口内均设置有进气管，进气管的中部串联有进气阀，箱体左端开设的排气口内设置有排气管，排气管的中部串联有排气阀，箱体下端开设的空腔内均设置有电加热丝，该曲面多晶金刚石薄膜的微波合成装置，能够对箱门与安装槽之间的缝隙进行密封，提高了曲面多晶金刚石薄膜的微波合成装置整体的密封性，解决了因箱门松动而导致箱体其内部气体泄漏的问题，提高了曲面多晶的金刚石薄膜的合成效果。

主权项：1.一种曲面多晶金刚石薄膜的微波合成装置，其特征在于：包括箱体1和密封机构7；箱体1：其底壁的中部设置有放置台3，箱体1前端设置的安装槽内通过铰链铰接有箱门4，箱体1前端的上侧通过轴承转动连接有安装杆6，箱体1右端开设的进气口内均设置有进气管9，进气管9的中部串联有进气阀，箱体1左端开设的排气口内设置有排气管10，排气管10的中部串联有排气阀，箱体1下端开设的空腔内均设置有电加热丝12；密封机构7：其设置于箱体1的内部，密封机构7固定连接于安装杆6外弧面的中部；其中：还包括控制开关2，所述控制开关2设置于箱体1的右端，控制开关2的输入端与外部电源电连接，电加热丝12的输入端均与控制开关2的输出端电连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 郑州港芯科技有限公司 一种曲面多晶金刚石薄膜的微波合成装置

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