申请/专利权人：深圳市福和大自动化有限公司

申请日：2023-07-28

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796656U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种多层甲酸真空共晶炉设备，包括主体框架结构、真空腔体、加热平台机构、冷却机构和甲酸载体机构；真空腔体与甲酸载体机构固定于主体框架结构内部，真空腔体设置于甲酸载体机构的前部，加热平台机构固定于真空腔体内部；冷却机构位于加热平台机构下方，且冷却结构面与加热平台机构面接触，用于快速冷却加热平台机构；甲酸载体机构连接于真空腔体后方，其甲酸载体机构由不锈钢载体、电磁阀和管路组成回路系统。本实用新型采用高真空管路系统，加热平台采用进口石墨板导热，加热源分前段加热，中间段加热，后段加热，分别独立控制加热平台，使工作时加热均匀稳定，减少产品的空洞率，实现高质量，高要求，高产能标准。

主权项：1.一种多层甲酸真空共晶炉设备，其特征在于：包括主体框架结构、真空腔体、加热平台机构、冷却机构和甲酸载体机构；所述真空腔体与甲酸载体机构固定于主体框架结构内部，真空腔体设置于甲酸载体机构的前部，加热平台机构固定于真空腔体内部；所述冷却机构位于加热平台机构下方，且冷却结构面与加热平台机构面接触，用于快速冷却加热平台机构；所述甲酸载体机构连接于真空腔体后方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市福和大自动化有限公司 一种多层甲酸真空共晶炉设备

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