申请/专利权人:芜湖映日科技股份有限公司
申请日:2023-09-22
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN220782208U
主分类号:B22D18/02
分类号:B22D18/02
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.16#授权
摘要:本实用新型公开了一种高性能Cu靶材制备模具,涉及到磁控溅射靶材应用技术领域,本实用新型公开了一种连续挤压机,所述连续挤压机上设有挤压轮和压实轮,所述挤压轮和压实轮转动安装在所述连续挤压机上,挤压轮和压实轮之间构成孔型轧制区域;压实轮侧面接触有槽封块,槽封块内设有摩擦区域、墩粗区域;槽封块下端固定连接有挤压模具,挤压模具内设有模具孔和腔体,槽封块和腔体之间构成粘连剪切区,腔体和模具孔构成直角转弯区;胚料经过孔型轧制区域、摩擦区域、墩粗区域、粘连剪切区和直角转弯区形成Cu靶材。相较于现有技术,本申请通过设置多个区域,每个区域对胚料实现不同的功能最后达到产品精粒细化的要求。
主权项:1.一种高性能Cu靶材制备模具,其特征在于所述模具包括挤压轮1和压实轮2,所述挤压轮1和压实轮2转动安装在连续挤压机上,所述挤压轮1和所述压实轮2之间构成孔型轧制区域;所述挤压轮1侧面设有槽封块3,所述槽封块3内设有摩擦区域、墩粗区域;所述槽封块3下端固定连接有挤压模具4,所述挤压模具4内设有模具孔7和腔体8,所述槽封块3和所述腔体8之间构成粘连剪切区,所述腔体8和所述模具孔7构成直角转弯区;胚料5经过所述孔型轧制区域、摩擦区域、墩粗区域、粘连剪切区和直角转弯区形成Cu靶材6。
全文数据:
权利要求:
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