申请/专利权人：EV集团E·索尔纳有限责任公司

申请日：2021-11-08

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117941048A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/18

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及用于将第一基板与第二基板接合的设备，该设备具有至少一个用于通过流体使这两个基板中的至少一个变形的变形装置，其中该至少一个变形装置是可移动的。此外，本发明涉及一种相应的方法。

主权项：1.一种用于将第一基板10与第二基板11接合的设备，所述设备具有至少一个用于通过流体使这两个基板10、11中的至少一个变形的变形装置3，其特征在于，所述至少一个变形装置3是可移动的。

全文数据：

权利要求：

百度查询： EV集团E·索尔纳有限责任公司 用于接合基板的设备和方法

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