申请/专利权人：道格特半导体科技(武汉)有限公司

申请日：2023-12-13

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117928436A

主分类号：G01B11/30

分类号：G01B11/30;G06F9/445

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明公开了一种针尖平坦度的测量方法及系统，首先，使用高倍率镜头，通过智能搜索找到探针的针尖，在通过影像聚焦测量出针尖的高度；然后，将测量步骤编写宏程序，再将每一个探针的针尖位置导入程序列，自动得到每一个被测针尖的高度；最后，经测量结果导入表格，将最高点数值减去最低点数值，即可得到探针卡的针尖平坦度。上述测量过程中，无需人工干预，视觉仪器采集探针卡的视频图像后与2D数字图表相对应，按照2D数字图表中的探针位置查找探针针尖，并通过自动聚焦针尖得到每一个针尖的高度值，无需与探针的针尖接触，不会对探针造成损耗。

主权项：1.一种针尖平坦度的测量方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤一，将待测探针卡放置于工作台上，并确定探针卡基板的基准坐标系；步骤二，确定待测探针卡的基准平面；步骤三，生成待测探针卡的2D数字图表，建立探针卡基板的测试坐标系；步骤四，导入2D数字图表，并与待测探针卡的视频图像叠加，按照2D数字图表中的针尖位置对视频图像中针尖进行定位，测量第一根探针的针尖高度，以第一根探针的针尖高度作为Z轴原点；步骤五，调用宏程序，按照2D数字图表中的各个针尖的位置，生成被测点位的程序列；步骤六，执行生成的程序列，依次完成各个探针的测量，并生成测量数据；步骤七，导出测量数据中的各个探针的Z轴高度值，Z轴高度值中的最大值减去最小值，得到该探针卡的针尖平坦度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 道格特半导体科技(武汉)有限公司 一种针尖平坦度的测量方法及系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD