申请/专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司

申请日：2019-09-20

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN112542414B

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2021.04.09#实质审查的生效;2021.03.23#公开

摘要：本发明涉及一种基板夹持承载台，承载台上沿圆周方向设有N个pin，相邻两个pin之间最长的弧长小于或等于所承载基板的二分之一周长；pin中具有平移pin，承载台上安装有移动槽，移动槽内分别设有电机C及动力源，动力源通过传动机构与电机C连接、驱动电机C沿承载台的径向往复移动，电机C的输出端与平移pin相连；电机A上安装有导电滑环，电机C及动力源所需供电及信号线路通过导电滑环与外部连接。本发明可在基板工艺过程中移动平移pin，完成对基板的夹持或分开，并旋转转动pin及平移pin，使基板与转动pin及平移pin之间相对转动、产生位移，避免基板与转动pin及平移pin接触处有药液残留，对基板造成污染，并可以完成对基板背部无死角的工艺处理。

主权项：1.一种基板夹持承载台，包括电机A、承载台及升降CUP，其中电机A的输出端与承载台相连、驱动承载台旋转，所述电机A外围设有可升降的升降CUP；其特征在于：所述承载台2上沿圆周方向设置有N个pin，相邻两个pin之间最长的弧长小于或等于所承载基板25的二分之一周长；所述pin中具有平移pin8，所述承载台2上安装有移动槽9，该移动槽9内分别设有电机C7及动力源，所述动力源通过传动机构与电机C7连接、驱动电机C7沿承载台2的径向往复移动，所述电机C7的输出端与平移pin8相连，该平移pin8具有转动及沿承载台2的径向往复移动两个自由度；所述电机A1上安装有导电滑环3，所述电机C7及动力源所需供电及信号线路均通过导电滑环与外部连接，工艺单元所需的背部处理液体、气体通过所述电机A1与导电滑环3的同心中空轴供应至承载台2的上方，对基板25的背部进行工艺处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 一种基板夹持承载台

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