申请/专利权人：福建福碳新材料科技有限公司

申请日：2024-02-05

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117711998B

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明涉及石墨舟技术领域，具体是涉及一种三代半导体用等静压石墨舟，包括若干个一号石墨片和二号石墨片，还包括承托台、水平滑动机构、限位件、等距调节机构和若干组连接件，水平滑动机构包括若干对石墨片载具，每个石墨片载具上均设有若干个控距块，每组连接件均包括若干个陶瓷控距件，本装置通过水平滑动机构中的石墨片载具来实现一号石墨片和二号石墨片的自由滑动，且通过限位件限制若干对石墨片载具的最终位移行程，并以此使初始状态下相邻的一号石墨片和二号石墨片的间距相同且为最小值，以此便于后续对若干个一号石墨片和二号石墨片进行统一的等距调节。

主权项：1.一种三代半导体用等静压石墨舟，包括若干个一号石墨片（1）和二号石墨片（2），每个一号石墨片（1）和二号石墨片（2）均呈竖直，一号石墨片（1）和二号石墨片（2）交错分布，且石墨舟的最外侧为两个一号石墨片（1），其特征在于，还包括承托台（3）、水平滑动机构（4）、限位件（5）、等距调节机构（6）和若干组连接件，水平滑动机构（4）包括若干对石墨片载具，每对石墨片载具均沿水平方向与承托台（3）滑动连接，每个一号石墨片（1）和二号石墨片（2）均分别对应其中一对石墨片载具，每个石墨片载具上均设有若干个控距块（7），限位件（5）设于水平滑动机构（4）的末端，限位件（5）用于限制若干对石墨片载具的最终位移行程，并以此使相邻两个石墨片载具上的控距块（7）相互抵触，此时相邻的一号石墨片（1）和二号石墨片（2）的间距相同且为最小值，等距调节机构（6）设于水平滑动机构（4）的下方，等距调节机构（6）用于等距调节若干对石墨片载具的间距，通过若干组连接件将若干个一号石墨片（1）和二号石墨片（2）固定相连，每组连接件均包括若干个陶瓷控距件（8），每个陶瓷控距件（8）均设于相邻一号石墨片（1）和二号石墨片（2）之间，陶瓷控距件（8）用于在调距后将相邻一号石墨片（1）和二号石墨片（2）的间距锁定；水平滑动机构（4）还包括两个呈对称状态的导滑件，每对石墨片载具分别设于两个导滑件上，每个导滑件均包括两根呈对称状态的固定杆（9），每个固定杆（9）均呈水平，每个固定杆（9）的两端均通过一个安装座（10）与承托台（3）固连，每个石墨片载具均为呈竖直的U形夹板（11），U形夹板（11）的底部成型有两个呈对应状态的滑套（12），两个滑套（12）分别靠近U形夹板（11）的两端，每个滑套（12）均套设于对应的固定杆（9）上，U形夹板（11）的两个内壁上均固定设有橡胶垫（13），若干个控距块（7）均匀分为两组分别设于U形夹板（11）两侧的外壁上；一号石墨片（1）和二号石墨片（2）的两条长边上均开设有若干个沿水平方向均匀分布的一号插孔（14），一号石墨片（1）和二号石墨片（2）上的一号插孔（14）一一对应，且靠近一号石墨片（1）和二号石墨片（2）四个端角的一号插孔（14）呈矩阵分布，限位件（5）包括两组分别与一号石墨片（1）的两端相对应的滑动抵触杆（15），每组滑动抵触杆（15）均包括一号电滑轨（16）、立架（17）和两个水平支杆（18），立架（17）通过一号电滑轨（16）与承托台（3）相连，一号电滑轨（16）位于其中一个安装座（10）的旁侧，两个水平支杆（18）分别固定设于立架（17）的上下两端，每个水平支杆（18）均垂直于立架（17），且每个水平支杆（18）的一端均朝向U形夹板（11）延伸，其中，四个水平支杆（18）分别与靠近一号石墨片（1）和二号石墨片（2）四个端角的一号插孔（14）相对应，每个水平支杆（18）靠近立架（17）的一端均成型有一圈用于与一号石墨片（1）相抵触的环形凸台（19）；连接件的数量与一号石墨片（1）中的一号插孔（14）的数量一致，每组连接件均还包括一号陶瓷连杆（20）和两个一号陶瓷旋帽（21），一号陶瓷连杆（20）通过若干个一一对应的一号插孔（14）贯穿所有一号石墨片（1）和二号石墨片（2），两个一号陶瓷旋帽（21）分别旋设于一号陶瓷连杆（20）的两端，且两个一号陶瓷旋帽（21）分别与最外侧的两个一号石墨片（1）相抵触，每个陶瓷控距件（8）均包括外螺纹套（22）和内螺纹套（23），外螺纹套（22）同轴套设于对应的一号陶瓷连杆（20）上，外螺纹套（22）的一端为外壁为光滑状，外螺纹套（22）的光滑端插入对应的一号插孔（14）内，且外螺纹套（22）的光滑端的外壁上同轴成型有限位环（24），内螺纹套（23）的一端旋设于外螺纹套（22）上，内螺纹套（23）的另一端上同轴成型有抵触环（25）；等距调节机构（6）的数量为两组，每组等距调节机构（6）均包括二号电滑轨（26）、条状U形座（27）、转轴（28）、电机（29）和若干个滑块（30），承托台（3）的两端均开设有一个缺口（31），每个缺口（31）内均固定设有一个下沉的托座（32），条状U形座（27）呈水平且通过二号电滑轨（26）与对应的托座（32）相连，条状U形座（27）的长度方向与U形夹板（11）的滑动方向平行，二号电滑轨（26）的移动方向垂直于条状U形座（27）的长度方向，若干个滑块（30）沿条状U形座（27）的长度方向滑动于条状U形座（27）的顶部，转轴（28）转动设于条状U形座（27）内，转轴（28）的轴向与条状U形座（27）的长度方向平行，电机（29）固定设于条状U形座（27）的外壁上，电机（29）用于带动转轴（28）旋转，转轴（28）的外壁上开设有若干个沿转轴（28）的轴向等距分布的螺旋凹槽（33），若干个螺旋凹槽（33）与滑块（30）一一对应，每个滑块（30）的底部均成型有一个竖直向下插入螺旋凹槽（33）内的圆头导向销（34），每个滑块（30）的顶部均固定设有一个竖直向上的驱动板（35），每个U形夹板（11）的底部均固定设有一个竖直向下且位于相邻两个驱动板（35）之间的从动板（36）。

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