申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2018-03-14

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN110447095B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67

优先权：["20170315 US 62/471,478"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2020.04.07#实质审查的生效;2019.11.12#公开

摘要：一种用于衬底处理工具的大气至真空ATV传送模块包括：第一侧，其被构造成与至少一个装载站接合；传送机械手组件，其被布置在所述ATV传送模块内；以及与所述第一侧相对的第二侧。所述传送机械手组件被配置为在所述至少一个装载站和布置在ATV传送模块和真空传送模块VTM之间的至少一个装载锁之间传送衬底。所述第二侧被构造成与所述至少一个装载锁接合。所述传送机械手组件邻近所述第二侧布置，并且所述至少一个装载锁延伸穿过所述第二侧到达所述ATV传送模块的内部容积中。

主权项：1.一种用于衬底处理工具的大气至真空传送模块，该大气至真空传送模块包括：第一侧，其被构造成与至少一个装载站接合；传送机械手组件，其被布置在所述大气至真空传送模块内，其中所述传送机械手组件被配置为在所述至少一个装载站和布置在所述大气至真空传送模块和真空传送模块之间的至少一个装载锁之间传送衬底；与所述第一侧相对的第二侧，所述第二侧被构造成与所述至少一个装载锁接合，其中所述传送机械手组件邻近所述第二侧布置，和传送机械手，其中，所述传送机械手组件包括构造成支撑所述传送机械手的传送机械手平台、第一机械手对准臂、以及连接在第一机械手对准臂和所述传送机械手平台之间的第二机械手对准臂，其中第二机械手对准臂构造成绕枢转点相对于第一机械手对准臂旋转，并且其中所述传送机械手组件被配置为（i）致动第一机械手对准臂和第二机械手对准臂以升高和降低所述传送机械手平台以调节所述传送机械手平台在竖直方向上的位置，以及ii致动第一机械手对准臂和第二机械手对准臂以在水平方向上调整所述传送机械手平台的位置，其中，所述传送机械手包括末端执行器和连接在所述末端执行器与所述传送机械手平台之间的臂段，其中，当处于折叠构造时，所述传送机械手具有比所述传送机械手组件要传送的衬底的直径更窄的轮廓，使得所述末端执行器和所述臂段与位于所述臂段上方的所述末端执行器在水平方向上同轴对准，以及所述末端执行器和所述臂段基本上平行于该大气至真空传送模块的第二侧，其中，所述传送机械手组件占据该大气至真空传送模块的总深度的小于50%，并且其中，该大气至真空传送模块的总深度对应于该大气至真空传送模块的第一侧和第二侧之间延伸的方向上的深度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 采用线性真空传送模块减少占用面积平台架构

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