申请/专利权人:深圳晶源信息技术有限公司
申请日:2023-12-27
公开(公告)日:2024-04-30
公开(公告)号:CN117953231A
主分类号:G06V10/44
分类号:G06V10/44;G06V10/30;G06V10/22
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开
摘要:本发明涉及图像处理技术领域,特别涉及一种SEM图像轮廓提取方法、装置、设备及存储介质。所述SEM图像轮廓提取方法,用于提取掩模图形,包括:基于待测掩模获取原始SEM图像,对所述原始SEM图像进行像素处理,得到像素点,基于像素点获取与之对应的预设范围区域;计算像素点与所述预设范围区域的相关性,得到相关图像;基于相关图像生成二值化图像并提取搜索种子,搜索种子为二值化图像中的亮点;基于搜索种子提取轮廓线。通过计算梯度向量区域相关性的方法有效地过滤了散落的噪声点以准确提取图形轮廓。
主权项:1.一种SEM图像轮廓提取方法,用于提取掩模图形,其特征在于,包括:基于待测掩模获取原始SEM图像,对所述原始SEM图像进行像素处理,得到像素点,基于所述像素点获取与之对应的预设范围区域;计算所述像素点与所述预设范围区域的相关性,得到相关图像;基于所述相关图像生成二值化图像并提取搜索种子,所述搜索种子为所述二值化图像中的亮点;基于所述搜索种子提取轮廓线。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 深圳晶源信息技术有限公司 一种SEM图像轮廓提取方法、装置、设备及存储介质
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