申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-10-26

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117943261A

主分类号：B05D3/04

分类号：B05D3/04;H10K71/00

优先权：["20221031 KR 10-2022-0142598"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.30#公开

摘要：本发明提供了用于处理基板的设备，其可以包括干燥腔室，干燥腔室被配置成对从原始基板分割的至少两个分割基板进行干燥，所述干燥腔室可以具有干燥空间，至少两个分割基板设置在干燥空间中。用于处理基板的设备可以包括干燥度补偿部，干燥度补偿部被配置成补偿被涂布在至少两个分割基板上的化学液体的干燥度的差异，使得被涂布在至少两个分割基板上的化学液体具有基本上相同的干燥度。

主权项：1.一种用于处理基板的设备，包括：干燥腔室，被配置成对从原始基板分割的至少两个分割基板进行干燥，所述干燥腔室具有干燥空间，所述至少两个分割基板设置在所述干燥空间中；以及干燥度补偿部，被配置成补偿被涂布在所述至少两个分割基板上的化学液体的干燥度的差异，使得被涂布在所述至少两个分割基板上的所述化学液体具有相同的干燥度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 用于处理基板的设备

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