申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-10-26

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117947388A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24

优先权：["20221027 KR 10-2022-0140691"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.30#公开

摘要：提供了沉积源。沉积源包括：第一坩埚；布置在第一坩埚内部的第二坩埚；布置在第一坩埚内部的块，块被布置在第二坩埚的至少一部分上；以及覆盖第一坩埚的顶表面的盖，盖被布置在块上。

主权项：1.一种沉积源，包括：第一坩埚；第二坩埚，所述第二坩埚布置在所述第一坩埚内部；块，所述块布置在所述第一坩埚内部，所述块被布置在所述第二坩埚的至少一部分上；以及盖，所述盖覆盖所述第一坩埚的顶表面，所述盖被布置在所述块上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 沉积源

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