申请/专利权人：珠海市申科谱工业科技有限公司

申请日：2023-07-10

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN116598233B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/66

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权;2023.09.01#实质审查的生效;2023.08.15#公开

摘要：本发明旨在提供一种吸料精准、自动化程度高、同时具备检测和筛选效果的芯片检测分选设备。本发明包括底座、固定架、芯片上料模组、端面检测模组、转台、芯片下料模组、预对位相机模组以及芯片搬运模组，固定架设于底座的后段，转台设于底座的中部，转台上至少设有两组吸附工位，若干吸附工位对应设有一组可调整角度的吸附台，若干吸附台均与产品吸附配合，端面检测模组设置于转台的周边并与一组吸附工位检测配合，预对位相机模组与固定架相连接并设于吸附工位的上方，芯片上料模组和芯片下料模组分别设于转台的两侧，芯片搬运模组设置在固定架上。本发明应用于芯片检测分选设备的技术领域。

主权项：1.一种芯片检测分选设备，它包括底座（1）和固定架（2），所述固定架（2）设于所述底座（1）的后段，其特征在于：所述芯片检测分选设备还包括芯片上料模组（3）、端面检测模组（4）、转台（8）、芯片下料模组（6）、预对位相机模组（9）以及芯片搬运模组（7），所述转台（8）设于所述底座（1）的中部，所述转台（8）设有若干组吸附工位，若干所述吸附工位对应设有一组可调整角度的吸附台（81），若干所述吸附台（81）均与产品吸附配合，所述端面检测模组（4）设置于所述转台（8）的周边并与一组所述吸附工位检测配合，所述预对位相机模组（9）与所述固定架（2）相连接并设于所述吸附工位的上方，所述芯片上料模组（3）和所述芯片下料模组（6）分别设于所述转台（8）的两侧，所述芯片搬运模组（7）设置在所述固定架（2）上，所述芯片上料模组（3）与外部机械手配合上料并带动产品至所述芯片搬运模组（7）的下方，所述芯片搬运模组（7）吸取芯片并将芯片放置到所述吸附台（81），所述预对位相机模组（9）对芯片拍照定位，所述吸附台（81）根据拍照结果调整芯片角度，所述转台（8）将所述吸附台（81）转至所述端面检测模组（4）对芯片端面拍照检测，所述芯片搬运模组（7）重新吸附产品并将其移动至所述芯片下料模组（6）中；所述预对位相机模组（9）包括对位相机和对位调节座，所述对位调节座连接于所述固定架（2）上，所述对位相机固定于所述对位调节座的活动端，针对不同的芯片型号，可人工调节所述对位调节座的Z轴方向高度，进而使芯片落入至所述吸附台（81）时位于所述对位相机的焦点处；所述转台（8）上至少两组吸附工位，一组所述吸附工位为预对位工位，另一组所述吸附工位为端面检测工位，每组吸附工位对应一组吸附台（81），每组所述吸附台（81）均设有XY双轴手动调节座以及旋转电机，所述XY双轴手动调节座连接于转台（8）上，所述旋转电机设于所述XY双轴手动调节座的活动端，所述旋转电机和所述XY双轴手动调节座中部设有开孔，所述旋转电机的活动端设有微型吸附头，所述吸附头穿过旋转电机和所述XY双轴手动调节座中部的开孔与外部真空发生装置相连通。

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权利要求：

百度查询： 珠海市申科谱工业科技有限公司 一种芯片检测分选设备

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