申请/专利权人:海宁集成电路与先进制造研究院
申请日:2023-08-01
公开(公告)日:2024-04-30
公开(公告)号:CN220872363U
主分类号:G01N21/88
分类号:G01N21/88;G01N21/01;G01N21/13
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.30#授权
摘要:本申请提供一种芯片外观检测装置、芯片。检测装置包括:芯片装夹部件和第一光学检测器,第一光学检测器设置在芯片装夹部件的一侧,用于在第一位置对芯片装夹部件上的芯片进行外观检测;芯片装夹部件包括:旋转盘、定位齿和固定架;旋转盘用于传输芯片至与第一位置对应的第二位置以使第一光学检测器对芯片进行外观检测,旋转盘沿周向均匀设有定位齿,定位齿朝向固定架的侧面均设有遮光部,遮光部用于遮挡透射过芯片的光线;相邻的定位齿之间设有沿旋转盘的周向转动连接的固定架以及供固定架转动至遮光部的转动空间,固定架用于固定芯片。利用遮光部实现对透射过芯片电路板的光线进行遮挡,对芯片外观有效成像,避免光线干扰。
主权项:1.一种芯片外观检测装置,其特征在于,包括:芯片装夹部件和第一光学检测器,所述第一光学检测器设置在所述芯片装夹部件的一侧,用于在第一位置对所述芯片装夹部件上的芯片进行外观检测;所述芯片装夹部件包括:旋转盘、定位齿和固定架;所述旋转盘用于传输所述芯片至与所述第一位置对应的第二位置以使所述第一光学检测器对所述芯片进行外观检测,所述旋转盘沿周向均匀设有定位齿,所述定位齿朝向所述固定架的侧面均设有遮光部,所述遮光部用于遮挡透射过所述芯片的光线;相邻的所述定位齿之间设有沿所述旋转盘的周向转动连接的固定架以及供所述固定架转动至所述遮光部的转动空间,所述固定架用于承载芯片并使所述芯片在所述第二位置贴靠在相应的所述遮光部上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 海宁集成电路与先进制造研究院 芯片外观检测装置及芯片
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