申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2022-09-12

公开（公告）日：2024-05-03

公开（公告）号：CN117981058A

主分类号：H01L21/306

分类号：H01L21/306;H01L21/304

优先权：["20210914 JP 2021-149462"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开

摘要：本发明的基板处理装置100具有基板保持部120、处理液供给部130、成分存在量测定部140以及控制部22。控制部22包括：时间变化获取部22b，基于在处理液供给部130向基板W供给处理液的期间由成分存在量测定部140测定出的基板W的特定成分的存在量，获取特定成分的存在量的时间变化；以及处理条件变更部22c，基于通过向学习完成模型LM输入表示时间变化获取部22b获取的特定成分的存在量的时间变化的输入信息而获得的输出信息，在停止供给处理液之前变更用于处理基板的基板处理条件，所述学习完成模型LM通过对将对于学习对象基板的处理条件以及处理结果建立关联的学习用数据进行机械学习而构建。

主权项：1.一种基板处理装置，其中，具有：基板保持部，保持基板；处理液供给部，向所述基板供给处理液；成分存在量测定部，测定所述基板的特定成分的存在量；以及控制部，控制所述基板保持部、所述处理液供给部以及所述成分存在量测定部；所述控制部包括：时间变化获取部，基于在所述处理液供给部向所述基板供给所述处理液的期间由所述成分存在量测定部测定出的所述基板的所述特定成分的存在量，获取所述特定成分的所述存在量的时间变化；以及处理条件变更部，基于通过向学习完成模型输入表示所述时间变化获取部获取的所述特定成分的存在量的时间变化的输入信息而获得的输出信息，在停止供给处理液之前变更用于处理基板的基板处理条件，所述学习完成模型通过对将对于学习对象基板的处理条件以及处理结果建立关联的学习用数据进行机械学习而构建。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法

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