申请/专利权人：深圳市柔宇科技有限公司

申请日：2017-06-27

公开（公告）日：2020-06-23

公开（公告）号：CN109564886B

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.23#授权;2019.04.26#实质审查的生效;2019.04.02#公开

摘要：提供了一种基板清洗装置10，包括光清洗室11、循环水清洗装置17及载水容器15；光清洗室11用于对基板100进行光清洗，并容纳在光清洗的过程中生成的臭氧，光清洗室11与载水容器15连通，使得臭氧能够导入载水容器15，以对载水容器15内的水进行杀菌消毒；载水容器15内的水能够流入循环水清洗装置17，以供循环水清洗装置17对基板100进行水清洗。通过将光清洗室内生成的多余臭氧导入载水容器，对载水容器进行杀菌消毒，保证了循环水清洗装置所用的水干净清洁，从而能够确保基板的洁净无菌；并且，也对多余的臭氧进行了有效利用，避免了多余臭氧直接排出造成的污染。

主权项：1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括光清洗室、循环水清洗装置及载水容器；所述光清洗室用于对基板进行光清洗，光清洗室设置光源，不接触基板进行光清洗，光清洗室容纳在所述光清洗的过程中生成的臭氧，待清洗基板进行光清洗后再进入循环水清洗装置进行水清洗，所述光清洗室与所述载水容器连通，使得所述臭氧能够导入所述载水容器，以对所述载水容器内的水进行杀菌消毒；所述载水容器内的水能够流入所述循环水清洗装置，以供所述循环水清洗装置对所述基板进行水清洗。

全文数据：PCT国内申请，说明书已公开。

权利要求：PCT国内申请，权利要求书已公开。

百度查询： 深圳市柔宇科技有限公司 基板清洗装置

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