申请/专利权人：株式会社日本显示器

申请日：2016-12-30

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN111424233A

主分类号：C23C14/04(20060101)

分类号：C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/34(20060101);H01L51/56(20060101)

优先权：["20160225 JP 2016-034014"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.04.01#授权;2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要：本发明提供一种蒸镀掩模，其包括：具有第1开口部的金属层；和设置在所述金属层的第1面侧的第1树脂层，所述蒸镀掩模的特征在于，所述蒸镀掩模具有：所述金属层与所述第1树脂层层叠的第1区域；和所述第1树脂层与所述金属层不层叠的第2区域，所述第1树脂层具有被所述第2区域包围的第2开口部，所述第2开口部的侧壁具有锥形形状。

主权项：1.一种蒸镀掩模，其包括：具有第1开口部的金属层；和设置在所述金属层的第1面侧的第1树脂层，所述蒸镀掩模的特征在于：所述蒸镀掩模具有：所述金属层与所述第1树脂层层叠的第1区域；和所述第1树脂层与所述金属层不层叠的第2区域，所述第1树脂层具有被所述第2区域包围的第2开口部，所述第2开口部的侧壁具有锥形形状。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社日本显示器 蒸镀掩模

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