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【发明公布】耦合型场效应晶体管_株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社_201910500088.6 

申请/专利权人:株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社

申请日:2019-06-11

公开(公告)日:2020-09-15

公开(公告)号:CN111668295A

主分类号:H01L29/41(20060101)

分类号:H01L29/41(20060101);H01L29/78(20060101)

优先权:["20190308 JP 2019-042902"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.11.21#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要:实施方式提供的能够降低噪声的耦合型场效应晶体管具备:第1导电型的第1半导体层;元件分离绝缘体,设置于第1半导体层的上层部分,划分出有源区域;第2半导体层,设置于有源区域内的第1半导体层上,为第2导电型,且第1方向的端部从元件分离绝缘体分离;源极层,设置于第2半导体层上,为第2导电型,杂质浓度比第2半导体层的杂质浓度高;漏极层,设置于第2半导体层上,在与第1方向交叉的第2方向上从源极层分离,为第2导电型,杂质浓度比第2半导体层的杂质浓度高;以及栅极层,设置于第2半导体层上,配置于源极层与漏极层之间,从源极层及漏极层分离,为第1导电型。

主权项:1.一种耦合型场效应晶体管,具备:第1导电型的第1半导体层;元件分离绝缘体,设置于上述第1半导体层的上层部分,划分出有源区域;第2半导体层,设置于上述有源区域内的上述第1半导体层上,为第2导电型,且第1方向的端部从上述元件分离绝缘体分离;源极层,设置于上述第2半导体层上,为上述第2导电型,杂质浓度比上述第2半导体层的杂质浓度高;漏极层,设置于上述第2半导体层上,在与上述第1方向交叉的第2方向上从上述源极层分离,为上述第2导电型,杂质浓度比上述第2半导体层的杂质浓度高;以及栅极层,设置于上述第2半导体层上,配置于上述源极层与上述漏极层之间,从上述源极层及上述漏极层分离,为上述第1导电型。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 耦合型场效应晶体管

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