申请/专利权人:合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日:2020-07-09
公开(公告)日:2020-11-10
公开(公告)号:CN111912316A
主分类号:G01B5/008(20060101)
分类号:G01B5/008(20060101);G01B5/28(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.05.10#授权;2020.11.27#实质审查的生效;2020.11.10#公开
摘要:本发明公开了一种精密定位平台Roll值的测量系统及方法,该系统包括:测量底座,测量底座上安装有精密定位平台的第一轴,且精密定位平台的第二轴安装在第一轴上;测量模块,测量模块安装在测量底座上,用于在精密定位平台移动时,测量精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离值;计算模块,用于根据第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离,计算精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的Roll值。本发明能够有效测量精密定位平台的Roll值,具有测量结果准确性高,结构简单,调节简便,成本低,工作效率高的优点。
主权项:1.一种精密定位平台Roll值的测量系统,其特征在于,包括:测量底座,所述测量底座上安装有所述精密定位平台的第一轴,且所述精密定位平台的第二轴安装在所述第一轴上;测量模块,所述测量装置安装在所述测量底座上,用于在所述精密定位平台移动时,测量所述精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离值;计算模块,用于根据所述第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离,计算所述精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的Roll值。
全文数据:
权利要求:
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