申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请日：2020-07-09

公开（公告）日：2022-05-10

公开（公告）号：CN111912316B

主分类号：G01B5/008

分类号：G01B5/008;G01B5/28

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.05.10#授权;2020.11.27#实质审查的生效;2020.11.10#公开

摘要：本发明公开了一种精密定位平台Roll值的测量系统及方法，该系统包括：测量底座，测量底座上安装有精密定位平台的第一轴，且精密定位平台的第二轴安装在第一轴上；测量模块，测量模块安装在测量底座上，用于在精密定位平台移动时，测量精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离值；计算模块，用于根据第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离，计算精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的Roll值。本发明能够有效测量精密定位平台的Roll值，具有测量结果准确性高，结构简单，调节简便，成本低，工作效率高的优点。

主权项：1.一种精密定位平台Roll值的测量系统，其特征在于，包括：测量底座，所述测量底座上安装有所述精密定位平台的第一轴，且所述精密定位平台的第二轴安装在所述第一轴上；测量模块，所述测量装置安装在所述测量底座上，所述测量模块包括：基尺、连接件和测距仪，其中，所述基尺安装于所述测量底座上；所述测距仪通过所述连接件固定连接在所述精密定位平台的滑座上，且所述测距仪的测量指针位于所述基尺的测量面上时，作为测量起始点，以在所述精密定位平台移动时，测量所述精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离值；所述基尺的平面度高于第一预设阈值；计算模块，用于根据所述第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离，计算所述精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的Roll值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 精密定位平台Roll值的测量系统及方法

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