申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2020-07-09

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112216630A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权：["20190710 KR 10-2019-0083113"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.08.27#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：本发明提供了一种流体供应单元和具有流体供应单元的基板处理装置。一种用于处理基板的装置包括：工艺腔室，其具有用于处理基板的处理空间；流体供应单元，用于向处理空间供应流体，其中，流体供应单元包括：供应管，其连接到处理空间以将流体供应到处理空间；泵，其安装在供应管中以向流体提供流动压力；排气管线，其安装在泵和工艺腔室之间以将流体中的压力排放到外部；安全阀，其安装在排气管线中以打开和关闭排气管线；以及储存器，其安装在泵和分支点之间，排气管线在该分支点从供应管分支，其中储存器具有比供应管的位于泵和分支点之间的部分的截面积大的截面积。

主权项：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括：工艺腔室，其具有用于处理所述基板的处理空间；流体供应单元，其用于向所述处理空间供应流体，其中，所述流体供应单元包括：供应管，其连接到所述处理空间以将所述流体供应到所述处理空间；泵，其安装在所述供应管中以向所述流体提供流动压力；排气管线，其安装在所述泵和所述工艺腔室之间以将所述流体中的压力排放到外部；安全阀，其安装在所述排气管线中以打开和关闭所述排气管线；以及储存器，其安装在所述泵和分支点之间，所述排气管线在所述分支点从所述供应管分支，其中所述储存器具有比所述供应管的、位于所述泵和所述分支点之间的部分的截面积大的截面积。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 流体供应单元和具有流体供应单元的基板处理装置

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