申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2019-08-15

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112397413A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.03.22#授权;2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本发明涉及半导体技术领域，本发明实施例提供一种半导体制造设备，包括：工艺区域；供应系统，与工艺区域相连，用于向工艺区域供应化学品，使工艺区域进行预设工艺步骤；检测系统，与供应系统相连，用于检测供应系统的供应状态；主控预警系统，与检测系统和供应系统相连，用于当检测到供应系统的供应状态异常时，发出预警信息并控制供应系统继续向所述工艺区域供应化学品，直至工艺区域完成预设工艺步骤。避免了在当下现有生产模式中，若检测到供应系统供应状态异常时，中止机台功能的设计而造成材料报废的现象，节约制造成本。

主权项：1.一种半导体制造设备，其特征在于，包括：工艺区域；供应系统，与所述工艺区域相连，用于向所述工艺区域供应化学品，使所述工艺区域进行预设工艺步骤；检测系统，与所述供应系统相连，用于检测所述供应系统的供应状态；主控预警系统，与所述检测系统和所述供应系统相连，用于当检测到所述供应系统的供应状态异常时，发出预警信息并控制所述供应系统继续向所述工艺区域供应化学品，直至所述工艺区域完成所述预设工艺步骤。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 半导体制造设备及其控制方法

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