申请/专利权人:科磊股份有限公司
申请日:2019-07-01
公开(公告)日:2021-02-23
公开(公告)号:CN112400213A
主分类号:H01J37/147(20060101)
分类号:H01J37/147(20060101);H01J37/285(20060101);H01J1/304(20060101)
优先权:["20180703 US 62/693,869","20190624 US 16/450,242"]
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态:2021.12.17#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.02.23#公开
摘要:本发明揭示一种磁微聚焦电子发射源设备。所述设备可包括磁发射器单元,其中所述磁发射器单元包含发射器。此外,所述磁发射器单元可包括由一或多个磁性材料形成的一或多个磁性部分,其中所述磁发射器单元的所述一或多个磁性部分经配置以产生接近所述磁发射器单元的所述发射器的尖端的磁场以增强从所述电子发射器发射的电子的聚焦。
主权项:1.一种设备,其包含:磁发射器单元,其中所述磁发射器单元包含发射器,其中所述磁发射器单元包含由一或多个磁性材料形成的一或多个磁性部分,其中所述磁发射器单元的所述一或多个磁性部分经配置以产生接近所述磁发射器单元的所述发射器的尖端的磁场以增强从所述电子发射器发射的电子的聚焦。
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