申请/专利权人：辛耘企业股份有限公司

申请日：2019-12-11

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112620279A

主分类号：B08B11/02(20060101)

分类号：B08B11/02(20060101);B08B11/04(20060101);B08B3/02(20060101);B08B3/04(20060101)

优先权：["20191008 US 62/912,616"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.06.24#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明提供一种湿工艺装置，用于大尺寸且呈矩型的玻璃基板，其包含一处理槽、一支架、一承载组件及至少一致动机构。处理槽顶部设有一开口，承载组件设置在支架，承载组件的至少一部分供承载玻璃基板且可活动地对应开口配置而能够移动而通过开口出入处理槽。致动机构连动承载组件而能够驱动承载组件在处理槽内带动玻璃基板。因此，能够处理大尺寸矩型玻璃基板且良率佳。

主权项：1.一种湿工艺装置，用于大尺寸且呈矩型的一玻璃基板，其特征在于，该湿工艺装置包含：一处理槽，该处理槽的顶部设有一开口；一支架；一承载组件，设置在该支架，该承载组件的至少一部分供承载所述玻璃基板且可活动地对应该开口配置而能够移动而通过该开口出入该处理槽；以及至少一致动机构，连动该承载组件而能够驱动该承载组件在该处理槽内带动所述玻璃基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 辛耘企业股份有限公司 湿工艺装置

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