申请/专利权人:上海新微技术研发中心有限公司
申请日:2019-12-06
公开(公告)日:2021-06-08
公开(公告)号:CN112928050A
主分类号:H01L21/677(20060101)
分类号:H01L21/677(20060101)
优先权:
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的驳回
法律状态:2023.10.27#发明专利申请公布后的驳回;2021.06.25#实质审查的生效;2021.06.08#公开
摘要:本申请提供一种晶圆传送装置和方法,晶圆传送装置具有:推进杆,其将晶圆从第一容器推入第二容器;第一定位面,其用于承载所述第一容器;第二定位面,其用于承载所述第二容器,所述第一定位面和所述第二定位面平行;调节部,其调节所述第一定位面和所述第二定位面在横向上和或纵向上的相对位置,其中,横向是指平行于所述第一定位面的方向,纵向是指垂直于所述第一定位面的方向。
主权项:1.一种晶圆传送装置,其特征在于,所述晶圆传送装置具有:推进杆,其将晶圆从第一容器推入第二容器;第一定位面,其用于承载所述第一容器;第二定位面,其用于承载所述第二容器,所述第一定位面和所述第二定位面平行;调节部,其调节所述第一定位面和所述第二定位面在横向上和或纵向上的相对位置,其中,横向是指平行于所述第一定位面的方向,纵向是指垂直于所述第一定位面的方向。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海新微技术研发中心有限公司 晶圆传送装置和晶圆传送方法
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