申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请日：2020-02-05

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN113424105A

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101);G02B7/02(20210101);G02B7/182(20210101)

优先权：["20190206 DE 102019201509.3","20200203 US 16/780,446"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.02.25#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：本发明涉及一种用于微光刻、特别是用于使用极紫外EUV范围内的光的成像装置的光学装置，其包括光学元件109和用于保持光学元件109的保持装置110。光学元件109包括光学表面109.1并且限定主延伸的平面，其中光学元件109限定径向方向和周向方向。保持装置110包括基底元件110.1和多于三个分离保持单元110.2，其中保持单元110.2连接到基底元件110.1并且以沿周向方向分布且彼此间隔开的方式布置。保持单元110.2相对于基底元件110.1保持光学元件109，在此，每个保持单元110.2在光学元件109与基底元件110.1之间建立夹持连接，所述夹持连接与其他保持单元110.2的夹持连接分开。

主权项：1.一种微光刻的成像装置的光学布置，特别地用于使用极紫外EUV范围中的光，包括：-光学元件109，和-保持装置110，用于保持所述光学元件109，其中，-所述光学元件109包括光学表面109.1并且限定主延伸的平面，其中所述光学元件109限定径向方向和周向方向，-所述保持装置110包括基底元件110.1和多于三个分离的保持单元110.2，-所述保持单元110.2连接到所述基底元件110.1且以沿所述周向方向分布且彼此间隔开的方式布置，并且-所述保持单元110.2相对于所述基底元件110.1保持所述光学元件109，其特征在于，-所述保持单元110.2中的每一个在所述光学元件109与所述基底元件110.1之间建立夹持连接，所述夹持连接与其他保持单元110.2的夹持连接分开，其中，-所述保持单元110.2中的至少一个、优选地每个保持单元110.2包括第一夹持单元110.3、110.5和与所述第一夹持单元110.3、110.5分开的第二夹持单元110.4、110.6，-所述第一夹持单元110.3、110.5和所述第二夹持单元110.4、110.6各自在分离位置处连接到所述基底元件110.1，-所述第一夹持单元110.3、110.5和所述第二夹持单元110.4、110.6彼此支承以建立所述夹持连接，并且-所述光学元件109的接口部分109.3被夹持在所述第一夹持单元110.3、110.5与所述第二夹持单元110.4、110.6之间。

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