申请/专利权人：华海清科股份有限公司

申请日：2022-07-15

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115091353A

主分类号：B24B37/10

分类号：B24B37/10;B24B37/04;B24B57/02;B24B37/005

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.08#授权;2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本发明公开了一种抛光液调整方法和化学机械抛光设备，其中方法包括：初始数据获取步骤，获取抛光垫的初始厚度以及对应的抛光液的初始流量；流量调整步骤，获取抛光垫厚度的变化量，根据抛光垫厚度的变化量，计算需要调整的抛光液的流量。本发明能够根据抛光垫的厚度变化，对抛光液的流量进行准确的定量调整，以维持抛光液在抛光垫表面的分布形状和厚度形貌保持稳定，从而保证晶圆抛光速率和抛光后晶圆形貌的一致性，同时节省抛光液。

主权项：1.一种抛光液调整方法，其特征在于，包括：初始数据获取步骤，获取抛光垫的初始厚度以及对应的抛光液的初始流量；流量调整步骤，获取抛光垫厚度的变化量，根据抛光垫厚度的变化量，计算需要调整的抛光液的流量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华海清科股份有限公司 一种抛光液调整方法和化学机械抛光设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD