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【发明授权】激光加工装置及激光加工方法_维亚机械株式会社_201910575115.6 

申请/专利权人:维亚机械株式会社

申请日:2019-06-28

公开(公告)日:2022-09-23

公开(公告)号:CN110653500B

主分类号:B23K26/382

分类号:B23K26/382;B23K26/70

优先权:["20180629 JP 2018-123796","20190617 JP 2019-111802"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.09.23#授权;2021.01.12#实质审查的生效;2020.01.07#公开

摘要:这里,本发明的目的在于,即使在用于ADO的控制信息的制作阶段中从激光振荡器输出的激光脉冲的能量变化,也能够抑制其影响,能够确保孔品质。在激光加工装置中,具有光偏转部和控制部,通过将从光偏转部射出的激光脉冲向被加工物引导照射来加工被加工物,前述光偏转部能够通过改变施加的驱动信号的频率和振幅来改变射入的激光脉冲的偏转方向和射出能量,前述控制部用于施加与各频率对应的振幅的驱动信号,前述控制部为,将前述光偏转部的前述射出能量变为最大的振幅中、最接近该射出能量相对于前述射入的激光脉冲的能量的比例中最低的比例的振幅,设为与前述各频率对应的振幅。

主权项:1.一种激光加工装置,具有光偏转器和控制器,通过将从光偏转器射出的激光脉冲向被加工物引导照射来加工被加工物,前述光偏转器能够通过改变施加的驱动信号的频率和振幅来改变射入的激光脉冲的偏转方向和射出能量,前述控制器具备将已确定的每个频率对应的振幅预先登录的控制表,控制器根据控制表施加与各频率对应的振幅的驱动信号,其特征在于,具备检测前述射入的激光脉冲的射入能量的第1检测器和检测前述射出能量的第2检测器;前述控制表中每个频率对应的振幅的获取步骤为:前述控制器设定振幅,使得射出能量最大,使频率变化,同时,针对每个频率,求出第2检测器检测的射出能量相对于第1检测器检测的射入能量的比例,从针对每个频率所得的前述比例中求出最低的比例,针对每个频率使振幅变化,同时,针对每个振幅,求出第2检测器检测的射出能量相对于第1检测器检测的射入能量的比例,针对每个频率,探索变得最接近前述最低的比例的比例所对应的振幅,确定为每个频率对应的振幅;加工被加工物时,基于已确定的每个频率的振幅,对光偏转器施加驱动信号。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 维亚机械株式会社 激光加工装置及激光加工方法

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