申请/专利权人：雷杰科技股份有限公司

申请日：2021-08-26

公开（公告）日：2023-01-13

公开（公告）号：CN218299774U

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.13#授权

摘要：一种对位设备，适于将第一基板与第二基板对位。此对位设备包括第一载台、支撑架、第一承载件、第二载台以及第二承载件。第一载台适于移动及转动。支撑架配置于第一载台上，并具有相对的第一端与第二端。第一端连接于第一载台，第一承载件连接于该第二端，并与第一载台相对，第一承载件适于承载第一基板。第二载台配置于第一载台上，并适于相对于第一载台移动及转动。第二承载件配置于第二载台上，并与第一承载件相对，第二承载件适于承载第二基板。第一载台移动时，支撑架、第一承载件、第二载台及第二承载件随之移动。

主权项：1.一种对位设备，适于将一第一基板与一第二基板对位，其特征在于，该对位设备包括：一第一载台，适于移动及转动；一支撑架，配置于该第一载台上，并具有相对的一第一端与一第二端，该第一端连接于该第一载台；一第一承载件，连接于该第二端，并与该第一载台相对，该第一承载件适于承载该第一基板；一第二载台，配置于该第一载台上，并适于移动及转动；以及一第二承载件，配置于该第二载台上，并与该第一承载件相对，该第二承载件适于承载该第二基板，其中，该第一载台移动时，该支撑架、该第一承载件、该第二载台及该第二承载件随之移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 雷杰科技股份有限公司 对位设备

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