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【发明公布】环境友善的去除光刻胶组成物以及其使用方法_元瀚材料股份有限公司_202210875214.8 

申请/专利权人:元瀚材料股份有限公司

申请日:2022-07-25

公开(公告)日:2023-02-03

公开(公告)号:CN115685700A

主分类号:G03F7/42

分类号:G03F7/42

优先权:["20210727 US 63/226,168"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.02.21#实质审查的生效;2023.02.03#公开

摘要:一种环境友善的去除光刻胶组成物及其使用方法,环境友善的去除光刻胶组成物包括20重量份至80重量份的碳酸酯化合物、0.5重量份至15重量份的醇胺化合物、酰胺化合物或铵类化合物、1重量份至20重量份的有机碱化合物以及2重量份至70重量份的醇醚化合物。本揭露的环境友善的去除光刻胶组成物可在较低温的条件下高效率地去除光刻胶,且由于环境友善的去除光刻胶组成物不含水,因此在用毕后还可避免繁琐的废液处理流程。另外,相较于传统的去除光刻胶的组成中,本揭露的环境友善的去除光刻胶组成物不需使用毒性高的化学药剂,因此可降低污染物及臭味的产生。

主权项:1.一种环境友善的去除光刻胶组成物,其特征在于,包括:20重量份至80重量份的一碳酸酯化合物;0.5重量份至15重量份的一醇胺化合物、一酰胺化合物或一铵类化合物;1重量份至20重量份的一有机碱化合物;以及2重量份至70重量份的一醇醚化合物。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 元瀚材料股份有限公司 环境友善的去除光刻胶组成物以及其使用方法

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