申请/专利权人：株式会社尼康

申请日：2015-03-30

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN111948916B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G03F7/00;G03F7/30;G02F1/13

优先权：["20140328 JP 2014-067435"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.23#授权;2020.12.04#实质审查的生效;2020.11.17#公开

摘要：本发明的基板载台装置20，具备能沿包含X轴及Y轴的平面内移动的基板保持具34、能沿Y轴方向与基板保持具同步移动的读头单元60、标尺52设于基板保持具且读头66x、66y设于读头单元并根据上述读头的输出求出于X轴及Y轴方向的基板保持具的位置信息的基板位置测量用编码器系统、求出读头单元于Y轴方向的位置信息的读头单元位置测量用编码器系统，以及根据上述基板位置测量用编码器系统及读头单元位置测量用编码器系统的输出进行基板保持具于XY平面内的位置控制的位置控制系。

主权项：1.一种移动体装置，其具备：光罩保持体，保持具有既定图案的光罩；第1驱动部，使所述光罩保持体往第1方向移动；架台部，设置有所述光罩保持体；以及第1测量系，包含能够测量所述光罩保持体于所述第1方向的移动范围的标尺及发出测量光束的读头中的一方配置在所述光罩保持体、所述读头及所述标尺中的另一方配置在所述架台部的编码器系统，根据接收所述标尺反射的所述测量光束的所述读头的输出，求出所述架台部与所述光罩保持体在所述第1方向的位置信息；物体保持体，保持既定物体；第2驱动部，使所述物体保持体往所述第1方向及与所述第1方向交叉的第2方向移动；移动体，设置于所述架台部与所述物体保持体之间，且于所述物体保持体往所述第2方向的移动中，相对于所述架台部往所述第2方向相对移动；第2测量系，求出往所述第1方向移动的所述物体保持体相对于所述架台部的位置信息；以及第3测量系，测量所述第1测量系与所述第2测量系之间的相对位置；所述第2测量系透过所述移动体求出所述物体保持体相对于所述架台部的所述第1方向与所述第2方向的位置信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社尼康 移动体装置及曝光装置

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