申请/专利权人：晶澳太阳能有限公司

申请日：2022-12-13

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN219066789U

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L31/18;H01L21/687;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.23#授权

摘要：本申请公开了一种推舟模组矫正装置，包括：缓存支架和缓存底座，所述缓存底座可拆卸地安装于所述缓存支架上；所述缓存底座设置为两个，两个所述缓存底座相对设置，且两个相对设置的所述缓存底座将石英舟定位在所述缓存支架上；所述缓存底座相对的一侧分别设置有导向柱，两侧的所述导向柱相对倾斜设置，且所述导向柱由下向上逐渐向外倾斜，两侧的所述导向柱的斜面分别与石英舟的两个侧面相接触，用于引导石英舟下放过程中在x方向的位置调整。通过导向柱的斜面引导作用，能够实现机械手下降放石英舟过程中，导向柱调整石英舟在x方向上的位置，实现石英舟自动矫正，达到防止石英舟位置偏差异常的目的。

主权项：1.一种推舟模组矫正装置，其特征在于，包括：缓存支架1和缓存底座2，所述缓存底座2可拆卸地安装于所述缓存支架1上；所述缓存底座2设置为两个，两个所述缓存底座2相对设置，且两个相对设置的所述缓存底座2将石英舟7定位在所述缓存支架1上；所述缓存底座2相对的一侧分别设置有导向柱3，所述缓存支架1两侧的所述导向柱3相对倾斜设置，且所述导向柱3由下向上逐渐向外倾斜，两侧的所述导向柱3的斜面分别与所述石英舟7的两个侧面71相接触，用于引导所述石英舟7下放过程中在x方向的位置调整。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 晶澳太阳能有限公司 一种推舟模组矫正装置

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