申请/专利权人:三一硅能(株洲)有限公司
申请日:2022-12-23
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN116162989A
主分类号:C25D17/00
分类号:C25D17/00;C25D7/12
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开
摘要:本发明公开了一种电镀导电辊和电镀设备,该电镀导电辊的周侧外表面设置有呈点状分布的弹性凸起,该弹性凸起能够伸入待镀膜的硅片线槽内与线槽内的种子导电层接触且与其电连接。相对表面光滑的导电辊来说,本发明能够提高导电辊与种子导电层之间的电性连接的有效接触面积,从而提高电流效率,加快金属离子在线槽内的沉积速度,提高电镀效率。
主权项:1.一种电镀导电辊,其特征在于,所述电镀导电辊的周侧外表面设置有呈点状分布的弹性凸起101,至少所述弹性凸起101的顶端外表面为导电材质,所述弹性凸起101能够伸入待镀膜的硅片线槽内与所述线槽内的种子导电层接触且与其电连接。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 三一硅能(株洲)有限公司 电镀导电辊和电镀设备
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