申请/专利权人：格拉斯哥大学校董会

申请日：2021-07-05

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN116194785A

主分类号：G01R3/00

分类号：G01R3/00

优先权：["20200707 GB 2010407.1"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.07.25#实质审查的生效;2023.05.30#公开

摘要：本发明主要涉及一种制造一个或多个独立的微机械加工部件的方法。该方法包括对支撑在载体衬底上的光致抗蚀剂和钨基层进行反应性离子蚀刻，从而限定一个或多个微机械加工部件，然后将所得的一个或多个微机械加工部件与载体衬底分离，使得部件是独立的。本发明还涉及可通过该方法获得的钨基微探针，其中所述微探针在垂直于所述微探针的纵轴的方向上具有基本上正方形或矩形的横截面，本发明还涉及包括多个这种微探针的探针卡。

主权项：1.一种制造一个或多个独立的微机械加工部件的方法，包括以下步骤：提供支撑在载体衬底上的钨基层；施加光致抗蚀剂，通过具有预定形状的掩模将所述光致抗蚀剂曝光，去除部分光致抗蚀剂，从而在所述钨基层上或其上方提供光致抗蚀剂掩模；进行光致抗蚀剂和钨基层的反应离子蚀刻，从而限定一个或多个微机械加工部件；和将所述一个或多个微机械加工部件与所述载体衬底分离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 格拉斯哥大学校董会 微机械加工的机械部件及其制造方法

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