申请/专利权人：浙江华镒节能科技有限公司

申请日：2023-03-16

公开（公告）日：2023-07-11

公开（公告）号：CN116417539A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/67;H01L31/0445

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.07.28#实质审查的生效;2023.07.11#公开

摘要：本申请提出一种CZTS薄膜的激光热处理方法及太阳能薄膜电池。本发明的方法包括如下步骤：获取CZTS前驱体薄膜；将激光束从管式炉激光窗口导入，控制激光束扫描所述CZTS前驱体薄膜的表面进行CZTS前驱体薄膜的硫化和激光热退火，所述管式炉内温度为200℃‑250℃，压力为0.01MPa‑0.05MPa，管式炉内为硫气氛。通过特定参数下的激光束扫描，可以调节CZTS前驱体薄膜硫化和重结晶过程中的缺陷密度，从而改善CZTS光吸收层薄膜的硫化结晶质量，进而提升CZTS太阳能薄膜电池的光电转换效率。

主权项：1.一种CZTS薄膜的激光热处理方法，其特征在于，包括如下步骤：获取CZTS前驱体薄膜；将激光束从管式炉激光窗口导入，控制激光束扫描所述CZTS前驱体薄膜的表面进行CZTS前驱体薄膜的硫化和激光热退火，所述管式炉内温度为200℃-250℃，压力为0.01MPa-0.05MPa，管式炉内为硫气氛。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江华镒节能科技有限公司 CZTS薄膜的激光热处理方法及太阳能薄膜电池

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