申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2020-01-21

公开（公告）日：2023-10-13

公开（公告）号：CN111310313B

主分类号：G06F30/20

分类号：G06F30/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.13#授权;2020.07.14#实质审查的生效;2020.06.19#公开

摘要：本发明公开了一种基于IAP的仿真模拟方法、装置以及晶圆清洗设备，方法包括：通过逻辑层接收用于控制硬件机台的功能指令，并将功能指令下发至驱动层；通过驱动层判断当前是否处于仿真模式；在当前处于仿真模式时，阻断驱动层与硬件机台之间的通讯，并将功能指令下发至用于模拟硬件机台的仿真环境中，模拟硬件机台执行功能指令；通过驱动层、逻辑层返回功能指令的仿真结果；其中，仿真环境是预置的，仿真环境的配置文件包括硬件机台的功能指令与对应IO点位通道的绑定关系，每个IO点位通道均设置有IO初始值。能够在仿真测试阶段还原实际机台的工作场景并在仿真模式下展示硬件机台真实的点位通道变化，以提供可靠的仿真测试结果。

主权项：1.一种基于IAP的仿真模拟方法，应用于半导体设备，其特征在于，所述方法包括：通过下位机软件的逻辑层接收用于控制硬件机台的功能指令，并将所述功能指令下发至下位机软件的驱动层；通过所述驱动层判断当前是否处于仿真模式；在当前处于所述仿真模式时，阻断所述驱动层与所述硬件机台之间的通讯，并将所述功能指令下发至用于模拟所述硬件机台的仿真环境中，模拟所述硬件机台执行所述功能指令；通过所述驱动层、所述逻辑层返回所述功能指令的仿真结果；其中，所述仿真环境是预置的，所述仿真环境的配置文件包括所述硬件机台的功能指令与对应IO点位通道的绑定关系，每个所述IO点位通道均设置有IO初始值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 基于IAP的仿真模拟方法、装置以及晶圆清洗设备

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