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【实用新型】LDI曝光机用防跑位装置_广东科视光学技术股份有限公司_202321837255.4 

申请/专利权人:广东科视光学技术股份有限公司

申请日:2023-07-12

公开(公告)日:2023-12-26

公开(公告)号:CN220252388U

主分类号:G03F7/20

分类号:G03F7/20

优先权:["20230504 CN 2023210409368"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.12.26#授权

摘要:本申请涉及曝光机的LDI曝光机用固定装置技术领域,尤其涉及一种LDI曝光机用防跑位装置。LDI曝光机用防跑位装置包括下框组件和上框组件。下框组件包括下台板,下台板开设有第一抽真空孔,通过从第一抽真空孔处抽真空,待曝光件吸附于下台板。上框组件包括上台板,上框组件与下框组件合框后,上台板将待曝光件压持于下台板。通过下台板对待曝光件进行承载,通过在第一抽真空孔处进行抽真空对待曝光件进行吸附,通过上台板对待曝光件进行压持。如此,使在通过LDI技术对待曝光的样品进行曝光的过程中,对待曝光的样品进行固定,减小待曝光的样品跑位的风险,使曝光效果符合预期。

主权项:1.一种LDI曝光机用防跑位装置,其特征在于,包括:下框组件,所述下框组件包括下台板,所述下台板开设有第一抽真空孔,通过从所述第一抽真空孔处抽真空,使待曝光件吸附于所述下台板;上框组件,所述上框组件包括上台板,所述上框组件与所述下框组件合框后,所述上台板将待曝光件压持于所述下台板。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广东科视光学技术股份有限公司 LDI曝光机用防跑位装置

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