申请/专利权人:华南理工大学
申请日:2023-09-21
公开(公告)日:2023-12-22
公开(公告)号:CN117275614A
主分类号:G16C20/70
分类号:G16C20/70;G16C60/00;G06F30/23;G06F30/27;C23C16/32;C23C16/52;C04B35/565;C04B35/80;G06F111/10;G06F113/26
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.01.09#实质审查的生效;2023.12.22#公开
摘要:本发明公开了一种CVDCVI数字化模型和预测方法,包括第一H2桶、Ar桶、第二H2桶、化学气相沉积反应器、气体混合器、带加热功能的电子天秤;第一H2桶的输出口、Ar桶的输出口、带加热功能的电子天秤均连接气体混合器,第二H2桶的输出口均连接气体混合器,气体混合器连接化学气相沉积在反应器的进气口:本发明实现了在较宽CVDCVI工艺参数范围内对SiC的沉积率进行快速、准确的预测,为未来的CVDCVI数字孪生和智能制造奠定理论和方法基础。
主权项:1.一种CVDCVI数字化模型,其特征在于,包括第一H2桶、Ar桶、第二H2桶、化学气相沉积反应器、气体混合器和带加热功能的电子天秤;所述第一H2桶的输出口、Ar桶的输出口、带加热功能的电子天秤均连接气体混合器,所述第二H2桶的输出口连接气体混合器,所述气体混合器连接化学气相沉积在反应器的进气口。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 华南理工大学 一种CVD/CVI数字化模型和预测方法
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