申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司

申请日：2023-06-10

公开（公告）日：2023-12-12

公开（公告）号：CN220166272U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.12#授权

摘要：本申请涉及一种CVDCVI设备的进气结构，涉及表面化学处理设备的技术领域，其包括安装组件和进气管组件，安装组件包括法兰，进气管组件与法兰固定密封连接且能够沿法兰的厚度方向贯穿法兰、反应室壳、保温层与外壳，法兰能够固定密封连接于外壳上，法兰的厚度小于外壳厚度。本申请具有能够减少高温气态前驱体在进气结构中的散热量，进而减少高温气态前驱体在进气结构中提前发生冷凝的概率的效果。

主权项：1.一种CVDCVI设备的进气结构，其特征在于，包括安装组件1和进气管组件2，所述安装组件1包括法兰11，所述进气管组件2与所述法兰11固定密封连接且能够沿所述法兰11的厚度方向贯穿所述法兰11、反应室壳5、保温层24与外壳3，所述法兰11能够固定密封连接于外壳3上，所述法兰11的厚度小于外壳3厚度；所述进气管组件2包括外进气管21和内进气管22，所述外进气管21沿所述法兰11的厚度方向贯穿所述法兰11且与所述法兰11固定密封连接，所述内进气管22能够贯穿反应室壳5、保温层24与外壳3，所述内进气管22的一端与所述外进气管21的一端连通，所述外进气管21的外径小于所述内进气管22的内径；所述内进气管22远离所述外进气管21的一端具有向远离所述内进气管22的轴线方向翻折的翻边221，所述翻边221能够与反应室壳5内壁贴合，另一端外侧设有第一密封件224，所述第一密封件224的内侧能够与所述内进气管22的外壁贴合，所述第一密封件224的外侧能够与外壳3贴合；所述翻边221面向所述法兰11的一面设有第二密封件225。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种CVD/CVI设备的进气结构

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