申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司

申请日：2023-08-07

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643256U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/26;C30B15/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型实施例提供了一种CVI沉积工装及CVI沉积炉，用于制备筒状碳碳热场件，所述热场件包括环绕所述热场件轴线的预制体，所述预制体围成筒状加热空间，所述预制体两端设置有与所述加热空间连通的第一开口和第二开口，所述第一开口大于所述第二开口，其特征在于，所述沉积工装包括：导流件，所述导流件包括设置有第一导流面的第一导流部；支撑件，在所述导流件位于所述加热空间内时，所述支撑件位于所述第一导流部与所述预制体之间，所述支撑件支撑所述第一导流面与所述预制体之间形成导流间隙，所述导流间隙用于引导碳源气体的扩散。这种结构更简单的沉积工装可以简化装炉和拆炉操作，有助于缩短沉积工艺的整体耗时，可提高沉积工艺效率。

主权项：1.一种CVI沉积工装，用于制备筒状碳碳热场件，所述热场件包括环绕所述热场件轴线的预制体，所述预制体围成筒状加热空间，所述预制体两端设置有与所述加热空间连通的第一开口和第二开口，所述第一开口大于所述第二开口，其特征在于，所述沉积工装包括：导流件，所述导流件包括设置有第一导流面的第一导流部；支撑件，在所述导流件位于所述加热空间内时，所述支撑件位于所述第一导流部与所述预制体之间，所述支撑件支撑所述第一导流面与所述预制体之间形成导流间隙，所述导流间隙用于引导碳源气体的扩散。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 一种CVI沉积工装和CVI沉积炉

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD