申请/专利权人:宜宾市极米光电有限公司
申请日:2022-03-31
公开(公告)日:2024-01-23
公开(公告)号:CN114778079B
主分类号:G01M11/02
分类号:G01M11/02;G01B11/27
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.01.23#授权;2022.08.09#实质审查的生效;2022.07.22#公开
摘要:本发明公开一种偏心仪及偏心检测方法,在用于安放待测镜片的样品位两侧分别设置有第一检测组件和第二检测组件,第一检测组件和第二检测组件分别对待测镜片的两侧表面进行反射式偏心测量,并且第一检测组件与第二检测组件相结合以进行透射式偏心测量。本发明所述的偏心仪及偏心检测方法在只需装夹一次待测镜片的情况下,可完成待测镜片两侧表面的反射式偏心测量以及透射式偏心测量,操作方便,检测效率高,排除待测镜片的一个表面对另一表面的透射式偏心测量产生的干扰,通过计算区分得到待测镜片各表面具体的面偏心与面倾斜,结构简单、紧凑,设备整体体积小、实施成本低。
主权项:1.一种偏心仪,其特征在于,包括第一检测组件、第二检测组件以及用于安放待测镜片6的具有调节自由度的样品位5,样品位5位于第一检测组件与第二检测组件之间,待测镜片6面朝第一检测组件的表面为第一表面并由第一检测组件对第一表面进行反射式偏心测量,待测镜片6朝向第二检测组件的表面为第二表面并由第二检测组件对第二表面进行反射式偏心测量;还包括第三光源31和第三分光元件32,第三光源31发出的光由第三分光元件32引导至第一检测组件中的第一物镜14并从第一物镜14出射至待测镜片6,光依次穿过待测镜片6的第一表面和第二表面后进入第二检测组件并成像在第二检测组件的第二成像传感器22上以对第一表面进行透射式偏心测量。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 宜宾市极米光电有限公司 一种偏心仪及偏心检测方法
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