申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-06-16

公开（公告）日：2024-01-26

公开（公告）号：CN117461121A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H05B6/64;H01L21/687

优先权：["20210618 US 17/351,530"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.13#实质审查的生效;2024.01.26#公开

摘要：本文提供了用于在微波脱气腔室中使用的基板支撑件的实施例。在一些实施例中，一种用于在微波脱气腔室中使用的基板支撑件包括：支撑板，所述支撑板具有用于支撑基板的一个或多个支撑特征；基座，所述基座包含设置在支撑板上的板，其中基座包括一个或多个开口，其中一个或多个支撑特征延伸穿过一个或多个开口中的对应开口；以及金属箔，所述金属箔设置在基座的面向支撑板的一侧的下方。

主权项：1.一种用于在微波脱气腔室中使用的基板支撑件，包含：支撑板，所述支撑板具有用于支撑基板的一个或多个支撑特征；基座，所述基座包含设置在所述支撑板上的板，其中所述基座包括一个或多个开口，其中所述一个或多个支撑特征延伸穿过所述一个或多个开口中的对应开口；以及金属箔，所述金属箔设置在所述基座的面向所述支撑板的一侧的下方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于微波脱气腔室的半透明基板支撑件

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