申请/专利权人：矽佳半导体(嘉兴)有限公司

申请日：2023-08-09

公开（公告）日：2024-02-20

公开（公告）号：CN220509986U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.20#授权

摘要：本实用新型公开了一种wafer收纳盒的固定装置，涉及晶圆存放技术领域,包括固定底板一，所述固定底板一的上端四个角点分别固定安装有固定杆，所述固定杆的顶端设置有限位块，所述固定杆的外部穿设有固定板二，所述固定杆的外表面套设有伸缩弹簧一，本实用新型将存放箱放置到放置槽一的内部时，将固定板二向上方做拉动时，可使固定板二受到伸缩弹簧一的伸缩力而向上方做移动，此时可使固定板二的底端与存放箱的顶端相贴合，当存放箱放置到放置槽一的内部时，伸缩弹簧二的伸缩力可使连接的推挤板和橡胶块对存放箱的前后两端做推挤的辅助固定，从而能够对存放箱做固定安装，防止外物坠落而对存放箱产生损坏，且结构简单，方便使用。

主权项：1.一种wafer收纳盒的固定装置，其特征在于，包括固定底板一1，所述固定底板一1的上端四个角点分别固定安装有固定杆2，所述固定杆2的顶端设置有限位块5，所述固定杆2的外部穿设有固定板二3，所述固定杆2穿设在固定板二3的内部，所述固定杆2的外表面套设有伸缩弹簧一6，所述伸缩弹簧一6的顶端与限位块5的底端相贴合，所述固定板二3的内部底端开设有方形槽4，所述固定底板一1的内部开设有放置槽一7，所述放置槽一7的上下两端固定设置有伸缩弹簧二8，所述伸缩弹簧二8的顶端固定安装有推挤板9，所述推挤板9的右端固定安装有若干个橡胶块10，所述橡胶块10为半圆形形状，所述放置槽一7的内部放置有存放箱11。

全文数据：

权利要求：

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