申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2022-06-10

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117616339A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20210701 EP 21183254.8"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.02.27#公开

摘要：公开了一种确定可靠性度量的方法以及相关联的设备，可靠性度量描述量测信号和或从其导出的感兴趣参数值的可靠性。方法包括：获取经训练的推算模型，用于根据测量信号推算感兴趣参数值，并获取一个或多个测量信号和或使用所述经训练的推算模型从一个或多个测量信号导出的各自的一个或多个感兴趣参数值。确定一个或多个测量信号和或各自的一个或多个感兴趣参数值的至少一个可靠性度量值，该可靠性度量描述一个或多个测量信号和或各自的一个或多个感兴趣参数值相对于与经训练的推算模型相关联的准确预测空间的可靠性。

主权项：1.一种确定可靠性度量的方法，所述可靠性度量描述量测信号和或从所述量测信号导出的感兴趣参数值的可靠性，所述方法包括：获取经训练的推算模型，所述经训练的推算模型用于根据测量信号推算感兴趣参数值；获取一个或多个测量信号和或使用所述经训练的推算模型从所述一个或多个测量信号导出的各自的一个或多个感兴趣参数值；以及确定所述一个或多个测量信号和或各自的一个或多个感兴趣参数值的至少一个可靠性度量值，所述可靠性度量描述所述一个或多个测量信号和或各自的一个或多个感兴趣参数值相对于与所述经训练的推算模型相关联的准确预测空间的可靠性。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 一种监测测量选配方案的方法以及相关联的量测方法和设备

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