申请/专利权人：金宏气体股份有限公司

申请日：2023-07-12

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN220530702U

主分类号：B01D3/14

分类号：B01D3/14;B01D3/32;B01D3/42;B01D15/10;B01D53/04;C07F7/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.27#授权

摘要：本实用新型公开了一种集成电路用超纯TEOS的中试装置，关于集成电路用超纯TEOS生产制造技术领域，包括原料罐，所述原料罐的下端设置有支腿，所述原料罐的一侧安装有液位计，所述液位计包括非透明部和透明部，所述液位计内滑动连接有第二显示块，所述液位计上还设置有连接板，所述连接板上滑动连接有与第二显示块相匹配的第一显示块，所述第一显示块能够随着第二显示块而移动，所述第一显示块的下端设置有刻度绳，所述连接板的上端设置有重力抵消组件，所述重力抵消组件用于抵消第一显示块和刻度绳产生的重力。与现有技术相比，根据本实用新型的一种集成电路用超纯TEOS的中试装置能够便于工作人员在晴天或者雨天准确判断原料的液位。

主权项：1.一种集成电路用超纯TEOS的中试装置，包括原料罐，所述原料罐的下端设置有支腿，所述原料罐的一侧安装有液位计，其特征在于，所述液位计包括非透明部和透明部，所述液位计内滑动连接有第二显示块，所述液位计上还设置有连接板，所述连接板上滑动连接有与第二显示块相匹配的第一显示块，所述第一显示块能够随着第二显示块而移动，所述第一显示块的下端设置有刻度绳。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 金宏气体股份有限公司 一种集成电路用超纯TEOS的中试装置

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