申请/专利权人:隆基绿能科技股份有限公司
申请日:2022-08-09
公开(公告)日:2024-03-01
公开(公告)号:CN117626404A
主分类号:C30B15/00
分类号:C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20;C30B27/02
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.03.01#公开
摘要:本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制装置和单晶硅棒拉制方法。单晶硅棒拉制装置包括:主炉体;坩埚,坩埚设置于所述主炉体内,用于容纳硅料;加热器,加热器设置于主炉体内,用于将坩埚内的硅料加热成硅液,以从硅液中生长单晶硅棒;以及传热组件,传热组件设置于所述单晶硅棒拉制装置内,传热组件在单晶硅棒通过时至少部分与单晶硅棒接触,以传导单晶硅棒的热量。本申请实施例中,传热组件可以至少部分与单晶硅棒接触,以将单晶硅棒的热量通过接触式传导的方式快速传导至传热组件,以提高单晶硅棒的纵向温度梯度,提高单晶硅棒的晶体生长速度,从而,增大单晶硅棒的拉制效率并降低单晶硅棒的生产成本。
主权项:1.一种单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述单晶硅棒拉制装置包括:主炉体;坩埚,所述坩埚设置于所述主炉体内,用于容纳硅料;加热器,所述加热器设置于所述主炉体内,用于将所述坩埚内的硅料加热成硅液,以从所述硅液中生长单晶硅棒;以及传热组件,所述传热组件设置在所述单晶硅棒拉制装置内,所述传热组件在所述单晶硅棒通过时至少部分与所述单晶硅棒接触,以传导所述单晶硅棒的热量。
全文数据:
权利要求:
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