申请/专利权人：三星电子株式会社

申请日：2023-08-21

公开（公告）日：2024-03-05

公开（公告）号：CN117647180A

主分类号：G01B11/00

分类号：G01B11/00;G01B11/24

优先权：["20220905 KR 10-2022-0112376"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.05#公开

摘要：提供了一种扫描电子显微镜SEM测量方法和或装置，其根据相同图案的若干SEM图像中的关键尺寸CD测量中的测量区域的位置校正来减小CD离散。该SEM测量方法包括：经由SEM在晶片上的多个位置处获得各个SEM图像；通过对准各个SEM图像和合并各个SEM图像来生成合并的SEM图像；在合并的SEM图像中生成合并的测量区域；在各个SEM图像中生成与合并的测量区域相对应的各个测量区域；以及测量各个测量区域中的各个关键尺寸CD。

主权项：1.一种扫描电子显微镜SEM测量方法，包括：经由SEM在晶片上的多个位置处获得各个SEM图像；通过对准所述各个SEM图像并且通过合并所述各个SEM图像来生成合并的SEM图像；在所述合并的SEM图像中生成合并的测量区域；在所述各个SEM图像中生成与所述合并的测量区域相对应的各个测量区域；以及测量所述各个测量区域中的各个关键尺寸CD。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星电子株式会社 扫描电子显微镜（SEM）测量方法和装置

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