申请/专利权人：应用材料以色列公司

申请日：2023-09-14

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117726663A

主分类号：G06T7/514

分类号：G06T7/514;G06T7/62;G06T7/00;G06V10/764;G06V10/766;G06V10/82;G06N3/0464;G06N3/0455;G06N3/0475;G06N3/094;G01N23/2251

优先权：["20220919 US 17/947,481","20230824 US 18/237,854"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.19#公开

摘要：本文公开了一种用于样品的非破坏性深度剖析的系统。所述系统包括：i电子束源，所述电子束源用于将电子束以多个着陆能量中的每一者投射在被检样品上；ii电子传感器，所述电子传感器用于获得有关所述着陆能量中的每一者的经测量的电子强度集；以及iii处理电路，所述处理电路用于基于所述经测量的电子强度集并考虑指示所述被检样品的预期设计的参考数据来确定表征所述被检样品的内部几何形状和或组成的结构参数集。

主权项：1.一种用于样品的非破坏性深度剖析的系统，所述系统包括：电子束源，所述电子束源用于将电子束以多个着陆能量中的每一者投射在被检样品上；电子传感器，所述电子传感器用于获得有关所述着陆能量中的每一者的经测量的电子强度集；以及处理电路，所述处理电路用于基于所述经测量的电子强度集并考虑指示所述被检样品的预期设计的参考数据来确定表征所述被检样品的内部几何形状和或组成的结构参数集。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料以色列公司 样品的基于非破坏性SEM的深度剖析

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