申请/专利权人：江南大学

申请日：2023-12-05

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN117673188A

主分类号：H01L31/108

分类号：H01L31/108;H01L31/0304;H01L31/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明公开了一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器，属于半导体器件制造技术领域。紫外探测器从下而上依次包括：衬底层、AlN缓冲层、Al0.65Ga0.35N层、Al0.4Ga0.6N有源层、Al0.55Ga0.45N势垒层和金属电极层。本发明通过仅在一侧的电极与Al0.4Ga0.6N有源层之间插入Al0.55Ga0.45N势垒层，构成不对称的MSM结构，利用不同的势垒高度诱导能带弯曲，形成不对称的能带，显著促进光生载流子的分离和输运，从而解决了对称MSM结构探测器高功耗的问题，实现了自驱动特性。形成的不对称的异质结构，增强了Al0.4Ga0.6N层的极化场，进而增加光电流的产生，大幅度提高了0V下的响应度。此外，本发明的制造的外延结构螺位错密度较低，从而器件获得超低的暗电流，提高了器件的灵敏度。

主权项：1.一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器，其特征在于，所述自驱动日盲紫外探测器从下而上依次包括：衬底层、AlN缓冲层、异质结构层和金属电极层；其中，所述异质结构层包括三层高铝组分层：Al0.65Ga0.35N缓冲层、Al0.4Ga0.6N有源层和Al0.55Ga0.45N势垒层；且所述自驱动日盲紫外探测器的一侧电极由三层高铝组分层中的Al0.55Ga0.45N势垒层和金属电极层构成，另一侧电极仅由金属电极层构成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江南大学 一种基于非对称肖特基势垒的自驱动日盲紫外探测器

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