申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所

申请日：2024-02-05

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117700586A

主分类号：C08F8/30

分类号：C08F8/30;C08F8/18;C08F112/08;G03F7/004

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明提供式I所示基于聚苯乙烯类碘鎓盐及其光刻胶组合物。本发明式I所示聚合物合成过程简单，原料便宜易得；所述苯乙烯碘鎓盐聚合物可用做光刻胶组合物中的主体材料，所得到的图案具有非常高的分辨率和低的线宽粗糙度。所述苯乙烯碘鎓盐聚合物通过改变碘鎓盐结构，使其具有长的吸收波长，因此可以用于深紫外光刻。

主权项：1.一种基于苯乙烯的二芳基碘鎓盐的聚合物，其特征在于，结构如下式I所示： 其中，x和y表示聚合物中两种单体的摩尔含量百分比，x+y=1，0.3＜y≤1；s为0、1、2或3；环A选自C6-20芳基或5-20元杂芳基；Ra1相同或不同，各自独立地选自C3-20环烷基、C6-20芳基、5-20元杂芳基、3-20元杂环基、C6-20芳基并3-20元杂环基；所述C3-20环烷基、C6-20芳基、5-20元杂芳基、3-20元杂环基、C6-20芳基并3-20元杂环基任选被一个、两个或更多个Ra’取代，Ra’相同或不同，彼此独立地选自卤素、氧代、硝基、CN、C1-15烷基或C1-15烷氧基；Rb的位置为对位、间位或邻位；Rb选自H、OH、卤素、C1-15烷基、C1-15烷氧基、C6-20芳基；q选自1-5的整数；X–选自卤离子、烷基磺酸根、三氟甲磺酸根、全氟丙基磺酸根、全氟丁基磺酸根、对甲苯磺酸根、四氟硼酸根、六氟磷酸根、双三氟甲烷磺酰亚氨离子。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院理化技术研究所 基于聚苯乙烯类碘鎓盐及其光刻胶组合物

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