申请/专利权人：奈米科学仪器设备(上海)有限公司

申请日：2023-11-20

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117706757A

主分类号：G02B21/26

分类号：G02B21/26;G02B21/24;G02B21/36

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明提出了一种基于双Z轴的对焦装置及方法，该装置包括：成像系统，其包括配有显微镜的相机，其安装于基座的悬挂台；运动平台，位于悬挂台的下方，用于承接样品，其安装于龙门横梁，龙门横梁用于承载运动平台；一号连接机构、Z1轴和一号位移单元，由上至下依次连接，一号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z1轴的下端，一号连接机构安装于龙门横梁；二号连接机构、Z2轴和二号位移单元，由上至下依次连接，二号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z2轴的下端，二号连接机构安装于龙门横梁；一号连接机构和二号连接机构中，至少一个连接机构为铰接机构。本发明可实现在后续检测量测过程中，样品与主光轴的垂直的动态调整。

主权项：1.一种基于双Z轴的对焦装置，其特征在于，包括：成像系统，其包括配有显微镜的相机，其安装于基座的悬挂台；运动平台，位于悬挂台的下方，用于承接样品，其安装于龙门横梁，所述龙门横梁用于承载运动平台；一号连接机构、Z1轴和一号位移单元，由上至下依次连接，一号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z1轴的下端，一号连接机构安装于龙门横梁；二号连接机构、Z2轴和二号位移单元，由上至下依次连接，二号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z2轴的下端，二号连接机构安装于龙门横梁；所述一号连接机构和二号连接机构中，至少一个连接机构为铰接机构；单独位移模式时，Z1轴和Z2轴各自的上端面之间，在Z向产生高度差，从而使得运动平台倾斜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 奈米科学仪器设备(上海)有限公司 基于双Z轴的对焦装置及方法

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